光刻机国产化进程加速。
在全球半导体产业格局深刻变革的背景下，我国光刻机国产化进程迎来重大突破。9月23日，第二十五届中国国际工业博览会在上海国家会展中心隆重开幕。在这场工业盛会中，芯上微装携多款重磅新品精彩亮相，并凭借卓越的技术实力，成功斩获展会最高荣誉“工博会CIIF 大奖”及“集成电路创新成果奖”。同日，上海微电子(SMEE)展台上首次公开亮相了极紫外(EUV)光刻机参数图。
今天（9月24日）光刻机概念继续突飞猛进，概念龙头张江高科(600895)涨停，再创历史新高。
光刻机国产化进程加速
国金证券表示，上海微电子以及芯上微装各自都展出重磅产品，背后对应的是今年产业端重磅的“0—1”突破，先进封装机台正式量产、干法DUV近期将进入量产测试阶段、国产EUV进入原理机搭建阶段（本次展出为EUV概念验证机），国产光刻机产业进入爆发元年。
根据华鑫证券研报，在国家政策支持下，国内企业加速研发突破光刻机制造技术，目前国产光刻机在90nm及以下工艺节点方面取得了重要进展。例如，上海微电子自主研发的600系列光刻机已实现90nm工艺的量产，并正在进行28nm浸没式光刻机的研发工作。近期，宇量昇与中芯国际的合作测试是国产光刻机突破的重要信号。
从产业影响看，华鑫证券认为光刻机技术的突破将带动上游材料、精密机械等配套产业升级，加速光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化进程，形成“龙头带动、多点突破”的产业升级格局。
600895，历史新高
在上述利好影响下，今天早盘光刻机概念继续大涨，张江高科涨停，再创历史新高。根据2024年9月10日互动易消息，张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22345万元，持有上海微电子公司10.779%的股权，后续未实施增持或减持。
根据波长光电内部的营业收入分类口径，光刻机相关业务属于公司的半导体及泛半导体领域收入类别，产品主要包括反射镜、聚焦镜、场镜等一些光学元器件以及平行光源和一些小型光学系统，应用场景有接近式掩膜光刻、直写光刻、封装测试、半导体量检测等。
根据2024年年报，江丰电子研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目开发项目，开发多层钛合金扩散焊接技术，制备28nm以下节点的光刻机核心冷却部件，已进入量产阶段。
根据华安证券研报，芯碁微装WLP 2000晶圆级直写光刻设备已获得中道头部客户的重复订单并出货。该设备可实现2um的线宽/线距（L/S），为客户提供2.xD封装光刻工序的解决方案。公司PLP3000板级直写光刻备凭借3um的L/S，为长三角客户提供了高性能光刻解决方案，进一步巩固了其在特色工艺领域的竞争力。
这些潜力股要起飞？
华鑫证券研报显示，中国光刻机需求量较大，但国产化率极低。长期以来，中国在高端光刻机领域始终面临“卡脖子”困境。美国早在2018年就开始施压对华高端光刻机的出口，之后又陆续出台“1007新规”等针对政策，限制对中国出口先进制程芯片设备，包括EUV光刻机和先进型号的DUV光刻机，同时联合日本荷兰制定相关出口条例共同对华进行产业封锁。
国金证券则表示，预估近期产整机将进入量产线验证、i线前道光刻机验证进入尾声，上游核心公司具备潜在加单机会，建议把握本轮主升浪行情。
A股中，光刻机概念股有40多只，未来发展值得期待。从机构关注度来看，芯碁微装、江丰电子、富创精密、蓝特光学等个股均有10多家机构评级；同飞股份、广立微、美埃科技、大族激光等个股均有5家以上机构评级。
从成长性来看，富创精密、同飞股份、广立微、大族激光、茂莱光学、华辰装备、炬光科技等个股机构一致预测2026年、2027年净利增速均超30%；芯碁微装、江丰电子、蓝特光学、永新光学、华特气体等个股机构一致预测2026年、2027年净利增速均超20%。
部分个股还得到杠杆资金的青睐。数据显示，腾景科技、芯碁微装、炬光科技、波长光电等个股9月以来杠杆资金净买入均超亿元。
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校对：陶谦
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